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单晶硅生长炉指在真空状态和惰性气体保护下,通过石墨电阻加热器将多晶硅原料加热熔化,然后用直拉法生长单晶的设备,简称“单晶硅生长炉”、“单晶生长炉”或“单晶炉”
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