2022-2028年中国物理气相沉积设备投资战略规划市场调研报告

报告编号:545307Ray雷电竞iOS官网 www.getcxbot.com2022-09-19 14:35:21
2022-2028年中国物理气相沉积设备投资战略规划市场调研报告
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物理气相沉积(PVD)技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子,或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术,物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。为了保证处理后的工件硬度和使用寿命,PVD处理技术对原材料有一定的要求。

镀膜的主要工艺有物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。PVD技术是目前主流镀膜方法,其中的溅射工艺在半导体、显示面板应用广泛。PVD技术分为真空蒸镀法、溅镀法和离子镀法。三种方法各有优劣势:真空蒸镀法对于基板材质没有限制;溅镀法薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜好;离子镀法的绕镀能力强,清洗过程简化,但在高功率下影响镀膜质量。不同方法的选择主要取决于产品用途与应用场景。

薄膜沉积设备主要负责各个步骤当中的介质层与金属层的沉积,包括CVD(化学气相沉积)设备,PVD(物理气相沉积)设备和ALD(原子层沉积)设备等。数据显示,2017至2020年,全球半导体薄膜沉积设备市场规模从125亿美元增长至172亿美元,预计到2025年将达340亿美元左右。

PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性、高耐腐蚀性及化学稳定性,膜层的寿命更长,经过批量的应用及生产验证,不仅汽车冲压件的拉伤问题得到了长期的解决,而且对比其他表面处理技术,PVD表面处理技术具有基材不易变形、不易开裂、可反复镀膜的优势,广泛应用于冲压模具领域,大大解决了模具拉毛问题及汽车外覆盖件面品问题,市场前景广阔。

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