2023-2029年中国泛半导体废气治理行业分析及供需趋势研究预测报告

报告编号：546174Ray雷电竞iOS官网 www.getcxbot.com2023-03-29 07:47:17

【报告名称:】2023-2029年中国泛半导体废气治理行业分析及供需趋势研究预测报告
【报告格式:】纸质版/电子版
【交付方式:】特快专递/E-mail
【中文版价格:】纸质版：7600元电子版：7800元纸质＋电子版:8000元
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报告摘要
报告目录
常见问题
订购流程

泛半导体产业可谓高能耗、高污染产业，废气种类复杂且治理难度大，其行业主要包括光电显示器件、集成电路制造，其核心生产工艺流程中会产生如酸碱废气、有机废气、氮氧化物等各类成分复杂的废气污染物，对废气治理提出了较大的挑战。一般依照其化学特性与影响范围可将废气分为易燃性、毒性、腐蚀性和温室效应气体四类。

近年来，各类半导体被广泛应用于汽车、电子产品、通信等多个L域，泛半导体产业得到快速扩张。由于泛半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此泛半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。其中，酸碱废气主要来自于扩散、CVD、CMP及刻蚀等工序；有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序；有毒废气主要来源于晶体外延、干法刻蚀及CVD等工序。

大气污染物的排放问题愈发严重，逐步引起了相关部门的关注。“十四五”规划以来，国家先后发布了《“十四五”节能减排综合工作方案》、《“十四五”生态环境监测规划》等重要文件，不断健全与生态环境保护相适应的监测评价制度，监测各项环境数据，对化学需氧量、氨氮、氮氧化物、挥发性有机物等排放总量作出了明确指示。生态环境部在《电子工业污染物排放标准（二次征求意见稿）》中针对现有企业及新建企业的污染物排放制定了详细的管控标准，针对颗粒物、氮氧化物、氯化氢、硫酸雾、VOCs等泛半导体污染物制定了严格的排放限值。